机械设计与研究 ›› 2020, Vol. 36 ›› Issue (02): 220-.doi: 10.13952/j.cnki.jofmdr.a5170
蒋庄德;
出版日期:2020-04-26
发布日期:2020-04-26
Online:2020-04-26
Published:2020-04-26
摘要： 出版时间:2018年11月定价:69. 00元对微机电系统(MEMS)的精微剖析和系统阐述。20年MEMS教学与科研历程的总结;蒋庄德院士的倾心力作。让我们跟随作者的脚步,将"芯"的革命进行到底!内容简介:"先进制造科学与技术丛书"的首本。本书讨论的主题是微机电系统(MEMS)这一前沿交叉学科。作者对MEMS技术的主要方面:结构、材料、工艺、设计、测量等进行了系统的论述,并随之对MEMS的典型应用进行了分类介绍,为读
蒋庄德;. MEMS技术及应用[J]. 机械设计与研究, 2020, 36(02): 220-.
| [1] | 谢高杨;唐刚;黄博;徐斌;袁丹丹;. 两自由度碰撞结构的压电MEMS能量采集器的设计与性能测试[J]. 机械设计与研究, 2019, 35(06): 48-51+57. |
| [2] | . 新书推荐[J]. 机械设计与研究, 2019, 35(04): 0-. |
| [3] | 靖霄;张卫平;周岁;邹阳;葛伟;周靖;. 微型可变形轮式机器人研究[J]. 机械设计与研究, 2019, 35(04): 26-31. |
| [4] | . 新书推荐[J]. 机械设计与研究, 2019, 35(03): 203-. |
| [5] | . 高等教育出版社 学术著作新书简介[J]. 机械设计与研究, 2019, 35(02): 204-205. |
| [6] | 陈黎明1，陈铖颖1，杨骏2. 用于智能传声器的低功耗语音降噪处理器设计[J]. 上海交通大学学报（自然版）, 2018, 52(9): 1098-1103. |
| [7] | 胡院林，王文. 电压和压力载荷下圆形薄膜压电驱动器形变分析[J]. 上海交通大学学报（自然版）, 2018, 52(8): 883-890. |
| [8] | 王超, 陈光焱, 吴嘉丽. 基于平面矩形螺旋梁的低g值微惯性开关的研制[J]. 上海交通大学学报（自然版）, 2013, 47(04): 679-686. |
| [9] | 王文君, 刘武, 张卫平, 陈文元, 杨春生, 崔峰, 吴校生. 柔性微热剪切应力传感器阵列 [J]. 上海交通大学学报（自然版）, 2012, 46(06): 984-988. |
| [10] | 陈英俊;赵晶英;. 胶囊微机电系统的无线信号传输性能分析与实验[J]. 机械设计与研究, 2012, 28(03): 34-37. |
| [11] | 赵祥雄;赖天伟;赵红利;侯予;陈双涛;. 基于气体润滑技术的MEMS透平研究进展[J]. 机械设计与研究, 2012, 28(01): 1-4+10. |
| [12] | 唐刚;刘景全;马华安;柳和生;. 微型压电振动能量采集器的研究进展[J]. 机械设计与研究, 2010, 26(04): 61-64+70. |
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