机械设计与研究 ›› 2000, Vol. 16 ›› Issue (01): 43-44+8.doi: 10.13952/j.cnki.jofmdr.a0742
王建林,胡小唐
发布日期:2020-07-26
Published:2020-07-26
摘要： 纳米定位技术是前沿科学、工程技术领域的关键技术之一 ,是实现纳米加工和纳米测量的基础。本文介绍了纳米定位技术的研究现状 ,给出几种近年来研制的典型纳米定位机构 ,对其工作原理及优缺点进行了分析 ,并指出了该技术今后的发展方向及需要解决的几个问题
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