机械设计与研究 ›› 2000, Vol. 16 ›› Issue (01): 52-54+9.doi: 10.13952/j.cnki.jofmdr.a0746
宋晓珏,陈晓阳,丁晓红
发布日期:2020-07-26
Published:2020-07-26
摘要： 本文针对微机械领域中常用的静电梳微谐振子中存在的静力学问题 ,对其悬臂梁的两种结构——蟹脚型结构和直脚型结构的受力情况作了分析 ,推导出应力和位移的计算方法 ,并对蟹脚型结构的设计进行了优化 ,和国外文献进行了相比 ,它们更符合实际情况
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