机械设计与研究 ›› 2008, Vol. 24 ›› Issue (04): 41-43+53.doi: 10.13952/j.cnki.jofmdr.a2058

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精密微位移工作台的设计与性能分析

李蓓智;杨永金;杨建国;张家梁;徐源;   

  1. 东华大学机械工程学院;
  • 发布日期:2020-07-26

  • Published:2020-07-26

摘要: 在微位移技术中,柔性铰链是实现微位移和高分辨率的理想机构。结合精密磨床工作台高精度、高分辨率和大刚度的特点,以及满足工作台的工作行程和进给稳定性要求,设计了宏微两级精密进给机构;建立了柔性铰链导向机构的理论模型并进行刚度分析;详细给出了柔性铰链的参数设计、有限元分析和疲劳寿命分析。

关键词: 微位移, 柔性铰链, 压电陶瓷, 有限元分析(FEA)

Key words: micro-displacement, flexure hinge, piezo-electric actuators, FEA