机械设计与研究 ›› 2009, Vol. 25 ›› Issue (02): 96-100.doi: 10.13952/j.cnki.jofmdr.a2188

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面曝光快速成形关键技术及研究现状

王伊卿;贾志洋;赵万华;卢秉恒;   

  1. 西安交通大学制造系统国家重点实验室;
  • 发布日期:2020-07-26

  • Published:2020-07-26

摘要: 全面介绍了面曝光快速成形关键技术、应用及研究现状,指出了其优势和存在的问题;阐述了面曝光快速成型系统组成、掩膜生成方法及关键器件工作原理,分析了LCD作为快速成型掩膜生成器件的失效原因,重点比较了LCD、DMD掩膜生成器件的分辨率、可靠性以及对快速成型的适用性;探讨了掩膜曝光快速成形过程中,树脂曝光固化引起翘曲变形的原理,介绍了改善翘曲变形的方法;最后,根据以上分析以及掩膜生成关键器件的发展现状,提出了面曝光快速成形技术的发展趋势。

关键词: 面曝光, 快速成型, 掩膜, 翘曲变形

Key words: mask exposal, rapid prototyping, mask, warpage & distortion