机械设计与研究 ›› 2013, Vol. 29 ›› Issue (02): 21-25.doi: 10.13952/j.cnki.jofmdr.a3065
陈启会;李群明;胥晓;
发布日期:2020-07-26
Published:2020-07-26
摘要： 针对微电子加工等超精密制造领域高精度和超洁净等要求,提出了一种平面型磁悬浮平台。介绍了平台的结构及工作原理,通过电磁力的优化计算得到系统的等效质量,建立了系统分散控制的动态等效单自由度模型。讨论了系统刚度阻尼和控制系统之间的关系,在此基础上确定了各控制参数随平台运动位置的函数关系。最后给出了平台的悬浮波形,仿真结果表明,在动态控制参数下,系统超调量更小;实验结果表明,系统动态响应快,具有良好的悬浮性能,鲁棒性强。
陈启会;李群明;胥晓;. 平面型磁悬浮平台的结构与分散控制[J]. 机械设计与研究, 2013, 29(02): 21-25.
| [1] | 王延林, 郭麒, 孙珊珊, 魏思浩, 许宁. 冰与斜面结构作用过程的离散元模拟与分析[J]. 上海交通大学学报, 2022, 56(9): 1168-1175. |
| [2] | 路林海, 武朝军, 孙捷城, 才昊, 叶冠林. 强竖向渗透济南红黏土的微观孔隙特征及CT渗流试验[J]. 上海交通大学学报, 2022, 56(9): 1218-1226. |
| [3] | 倪扬帆, 杨媛媛, 谢哲, 郑德重, 王卫东. 基于LSTM与注意力结构的肺结节多特征抽取方法[J]. 上海交通大学学报, 2022, 56(8): 1078-1088. |
| [4] | 李登攀, 任晓明, 颜楠楠. 基于无人机航拍的绝缘子掉串实时检测研究[J]. 上海交通大学学报, 2022, 56(8): 994-1003. |
| [5] | 李建军, 朱文峰, 孙海涛, 李元辉, 王顺超. 异质滚合结构固化变形预测及曲面重构预补偿方法[J]. 上海交通大学学报, 2022, 56(7): 965-976. |
| [6] | 林张鹏, 余海东, 袁可. 基于高阶复合曲面单元的非均匀大薄板装配偏差计算模型[J]. 上海交通大学学报, 2022, 56(5): 584-593. |
| [7] | 黄城均, 朱天怡, 宋晓冰. 双钢板混凝土单元平面内屈服准则[J]. 上海交通大学学报, 2022, 56(4): 422-430. |
| [8] | 黄凤华, 程斌, 滕念管. 结构拟静力分量对中低速磁浮车-桥系统地震响应的影响[J]. 上海交通大学学报, 2022, 56(4): 486-497. |
| [9] | 王箫剑, 洪君, 陈晶华, 李鸿光. 基于参数化建模和响应面优化的箱体减重研究[J]. 空天防御, 2022, 5(4): 60-66. |
| [10] | 吴王浩, 段旭, 张鑫, 陈丹, 徐振东. 高马赫数钝头体气动/传热一体化计算方法研究[J]. 空天防御, 2022, 5(3): 87-92. |
| [11] | 王寅. 认知语言学和体认语言学可望再度领先[J]. 当代外语研究, 2022, 22(2): 83-92. |
| [12] | 李钰, 杨道勇, 刘玲亚, 王易因. 利用生成对抗网络实现水下图像增强[J]. 上海交通大学学报, 2022, 56(2): 134-142. |
| [13] | 王会峰 , 黄福祥 , 蒋 扬 , 阴炳钢 , 田立锋 , 李隶辉. 半潜平台湿拖作业时横摇水动力特性数值研究 [J]. 海洋工程装备与技术, 2022, 9(2): 29-37. |
| [14] | 唐静仪, 余群, 刘军. 结合人工智能的结构影像分析对阿尔茨海默病的早期预测及精准诊断研究进展[J]. 诊断学理论与实践, 2022, 21(01): 12-17. |
| [15] | 王利坡. 复杂系统空间结构的定量表征方法[J]. 上海交通大学学报, 2021, 55(Sup.1): 104-105. |
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