机械设计与研究 ›› 2015, Vol. 31 ›› Issue (06): 31-33+53.doi: 10.13952/j.cnki.jofmdr.a3794

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铬掺杂的金属极板氮化钛膜层制备及性能

蔚林;易培云;彭林法;   

  1. 上海交通大学上海市复杂薄板结构数字化制造重点实验室;
  • 发布日期:2020-07-26

  • Published:2020-07-26

摘要: 燃料电池金属极板迫切需要提高导电性和耐腐蚀性。本文运用非平衡磁控溅射离子镀(CFUBMSIP)工艺对316L不锈钢双极板进行表面改性。以氮化钛为基础膜系,掺入铬元素制备钛铬氮膜;通过SEM、XRD和XPS等分析方法揭示铬元素掺杂对氮化钛物相和成分影响规律;最后对铬钛氮膜导电性和耐腐蚀性能开展实验研究。研究表明,当钛铬比例为3:1时所得钛铬氮膜具有最优性能。

关键词: 氮化钛, 掺杂铬, 金属双极板, 耐腐蚀性, 导电性

Key words: TiN, Cr dopant, metallic bipolar plate, corrosion resistance, conductivity