机械设计与研究

机械设计与研究 ›› 2019, Vol. 35 ›› Issue (03): 195-198.doi: 10.13952/j.cnki.jofmdr.a4899

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化学气相沉积法制备Co-Re涂层沉积设备设计与实验

敬瑀;龚伟;朱黎明;王恩泽;   

  1. 西南科技大学材料科学与工程学院;西南科技大学制造科学与工程学院;
  • 出版日期:2019-06-20 发布日期:2019-06-20

  • Online:2019-06-20 Published:2019-06-20

摘要： 设计了Co-Re化学气相沉积设备。该设备采用两个升华室,分别以Co(acac)_2和Re_2(CO)_(10)为前驱体,通过运载气体H_2输运至反应室,在速射武器身管钢基体上(0CrNi2MoVA型钢材)同时沉积Co原子和Re原子,生成Co-Re合金抗烧蚀涂层。文章介绍了设备的原理和构成以及设备控制系统的设计方案,并着重介绍了利用道尔顿分压定律设计计算设备的升华室、反应室尺寸。经过初步的测试表明:该设备能够为Co-Re涂层的制备提供合适的温度与气压,并且结构简单、制造成本低,可用于Co-Re合金涂层的制备与研究。

关键词: 化学气相沉积, Co-Re合金涂层, 道尔顿分压定律, 设备设计

Key words: chemical vapor deposition, Co-Re alloy coating, Dalton's partial pressure law, equipment design