机械设计与研究 ›› 2012, Vol. 28 ›› Issue (01): 1-4+10.doi: 10.13952/j.cnki.jofmdr.a2796

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基于气体润滑技术的MEMS透平研究进展

赵祥雄;赖天伟;赵红利;侯予;陈双涛;   

  1. 河南农业大学机电工程学院;西安交通大学制冷与低温工程研究所;
  • 发布日期:2020-07-26

  • Published:2020-07-26

摘要: 高能密度和微型化已经成为动力设备发展的必然趋势,然而,润滑技术的发展直接制约着高速透平的极限转速。微机电系统(MEMS)中的高速透平内轴承与转子间最小间隙为微米量级甚至更小,必然会给装置的设计和制造带来一些新问题。文中简要介绍了基于气体润滑技术的MEMS透平国内外发展状况,并对相关领域的研究进展进行了展望。

关键词: 微机电系统(MEMS), 透平, 气体润滑

Key words: micro-electromechanical systems(MEMS), turbine, gas lubricated