机械设计与研究 ›› 2018, Vol. 34 ›› Issue (04): 5-8+13.doi: 10.13952/j.cnki.jofmdr.a4676

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用于高能激光的快速控制反射镜设计方法研究

刘重飞;贾建军;谢永;李长昆;   

  1. 中国科学院上海技术物理研究所;中国科学院大学;
  • 发布日期:2020-07-26

  • Published:2020-07-26

摘要: 为降低高功率激光辐照下快反镜吸收激光能量产生的影响,对用于高能激光的快反镜设计方法进行了研究。首先从降低反射镜与基体结构对激光的吸收角度提出了镜片两面均镀高反射膜的方案,通过试验测试了该镀膜方案下镜片与基体在高功率激光持续辐照下的温升,并分析了该温升下粘接剂的粘接强度。最后设计了一种新式柔性铰链结构可减少托架与镜片的热应力耦合,并通过有限元分析对其进行优化,确定最优参数。试验与分析结果表明,高能激光照射试验下镜片最高温升为75℃且粘接剂拉伸强度足够;背部基体结构温升小于5℃,驱动器与传感器几乎无温升;镜片温度升高30℃后,新式托架结构使镜片面形RMS值从1/10λ提高到1/25λ(λ=632.8 nm)。试验与仿真分析结果均表明镀膜方案与新式铰链设计合理可行。

关键词: 快反镜, 面形精度, 镀膜, 柔性铰链, 有限元分析

Key words: fast steering mirror(FSM), surface figure accuracy, coating film, flexure hinge, finite element analysis