机械设计与研究

机械设计与研究 ›› 2000, Vol. 16 ›› Issue (04): 18-20+6.doi: 10.13952/j.cnki.jofmdr.a0804

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压电微机器人平面致动机理和谐振频率分析

刘方湖,马培荪,陈建平,姚沁   

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  • 发布日期:2020-07-26

  • Published:2020-07-26

摘要： 对一种平面、管道复合型压电微机器人的平面致动机理和谐振频率进行了分析 ,为该机器人提高爬行速度、　选择控制电压的谐振频率提供了依据。

关键词: 微机器人, 微电子机械系统, 压电微驱动器

Key words: micro robot, micro electro mechanical system(MEMS), piezoelectric micro actuator