机械设计与研究 ›› 2009, Vol. 25 ›› Issue (03): 44-47.doi: 10.13952/j.cnki.jofmdr.a2221

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柔性铰链精密定位机构的设计与分析

卜巾晏;何广平;   

  1. 北方工业大学机电工程学院;
  • 发布日期:2020-07-26

  • Published:2020-07-26

摘要: 研究一种具有纳米级定位精度的弹性位移缩放机构。该机构采用桥式柔性铰链位移缩放机构,这种弹性位移缩小机构可以将传统螺母丝杠系统精度提高到纳米级。建立桥式柔性位移缩放机构的位移缩放比的理论模型,对机构进行了应力分析,运用ANSYS有限元软件分析了弹性微位移缩小机构的特性,并与理论建模的的结论相一致,且机构的输入输出具有良好的线性关系。结果表明:该机构的行程可达40微米,分辨率达20纳米。

关键词: 纳米定位, 柔性铰链, 位移缩放比, 有限元方法

Key words: nano-positioning, flexible hinge, displacement amplification ratio, finite element method