机械设计与研究 ›› 2010, Vol. 26 ›› Issue (06): 54-57+67.doi: 10.13952/j.cnki.jofmdr.a2552

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MEMS器件的优化设计

王虎奇;陈树勋;   

  1. 广西大学机械工程学院;广西工学院机械工程系;
  • 发布日期:2020-07-26

  • Published:2020-07-26

摘要: 微机电系统(MEMS)器件在军用和民用领域应用都比较广泛,其设计研究涉及到机械、电子、磁场等领域,属于多学科问题,对其进行优化设计比较困难。文中以微加速度计ADXL150的优化设计为例以SUGAR软件作为分析器提出采用导重法对微机电系统器件进行优化设计。该方法与国外采用的遗传算法和退火算法等自然模拟优化算法相比,计算效率与计算精度大大提高,采用遗传算法和退火算法需要上万次分析,计算时间达4~5 h,而该方法仅需六七次优化迭代几分钟时间即可找到最优解。

关键词: 微加速度计, 优化设计, 导重法, 自然模拟法

Key words: microaccelerometer, optimization design, guide-weight method, simulated nature algorithm