机械设计与研究

机械设计与研究 ›› 2015, Vol. 31 ›› Issue (01): 74-77.doi: 10.13952/j.cnki.jofmdr.a3564

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基于预紧理论的大尺寸光刻机驱动精度控制

皮利华;芮延年;   

  1. 苏州大学机电工程学院;
  • 发布日期:2020-07-26

  • Published:2020-07-26

摘要： 以基于预紧理论的大尺寸光刻机驱动精度控制技术为研究课题,以Hertz接触理论为基础,提出通过对角接触球轴承施加预紧力的方法,来提高光刻机滚珠丝杠驱动精度。课题通过对角接触球轴承动力学分析,构建了角接触球轴承预紧计算方法,并进行了实例设计计算,经生产实践证明了该技术方法可以进一步提高光刻机驱动系统精度。

关键词: 光刻机驱动精度, 角接触球轴承, 预紧理论

Key words: accuracy of driving of lithography machine, angular contact ball bearing, preload theory