扫描电子显微镜隔振器中螺旋弹簧的最优化设计

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ISSN 1006-2343 CN 31-1382/TH

扫描电子显微镜隔振器中螺旋弹簧的最优化设计

邵健中,邹立,陆章超,朱祖福

机械设计与研究 . 1993, (01): 28 -30 . DOI: 10.13952/j.cnki.jofmdr.a0186