机械设计与研究 ›› 1993, Vol. 9 ›› Issue (01): 28-30.doi: 10.13952/j.cnki.jofmdr.a0186
邵健中,邹立,陆章超,朱祖福
摘要： 一、引言 智能化高分辨力扫描电子显微镜DXS-4型是上海电子光学技术研究所正在研制的新型仪器。该仪器的主要技术指标—点分辨力为4nm,是当前国内最高水平,也是国际上采用钨阴极同类仪器80年代末期水平。决定扫描电子显微镜分辨力的因素,除了轰击样品的束斑直径和样品材料的组织结构外,还有来自地面的经常性振动而激起的样品相对于光轴的漂移。地面的低频经常性振动,其频率、
