静电梳微谐振子结构中的静力学问题

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ISSN 1006-2343 CN 31-1382/TH

静电梳微谐振子结构中的静力学问题

宋晓珏,陈晓阳,丁晓红

机械设计与研究 . 2000, (01): 52 -54+9 . DOI: 10.13952/j.cnki.jofmdr.a0746