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微机械的基本特征、关键技术及应用前景

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  • 上海交通大学仪器工程系!200030,上海交通大学仪器工程系!200030

网络出版日期: 2020-07-25

摘要

本文综述了微机械的发展、分类及基本特征。介绍了研究微机械所涉及的关键技术 ,并预测了微机械广泛的应用前景。

关键词: 微机械; 关键技术; 应用

本文引用格式

张芳,林良明 . 微机械的基本特征、关键技术及应用前景[J]. 传动技术, 2001 , 14(01) : 25 -33 . DOI: 10.3969/j.issn.1006-8244.a0319

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