传动技术 ›› 2001, Vol. 14 ›› Issue (01): 25-33.doi: 10.3969/j.issn.1006-8244.a0319

• 论文 • 上一篇    下一篇

微机械的基本特征、关键技术及应用前景

张芳,林良明   

  1. 上海交通大学仪器工程系!200030,上海交通大学仪器工程系!200030
  • 出版日期:2001-03-25 发布日期:2020-07-25
  • 通讯作者: 张芳

  • Online:2001-03-25 Published:2020-07-25

摘要: 本文综述了微机械的发展、分类及基本特征。介绍了研究微机械所涉及的关键技术 ,并预测了微机械广泛的应用前景。

关键词: 微机械, 关键技术, 应用

中图分类号: