机械设计与研究 ›› 1997, Vol. 13 ›› Issue (01): 46-47+27.doi: 10.13952/j.cnki.jofmdr.a0476
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干东英
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摘要: 本文综述了当今微电子机械系统的新动向,并列举国际上已达到或接近应用的先进实例以飨读者,供规划参考之用
关键词: 微电子机械, 微型仪器, 微型机械
干东英. 微电子机械系统研究的新动向[J]. 机械设计与研究, 1997, 13(01): 46-47+27.
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