机械设计与研究 ›› 2014, Vol. 30 ›› Issue (03): 71-74+78.doi: 10.13952/j.cnki.jofmdr.a3353
唐黎明;谢进;谢蛟;任必春;
发布日期:
2020-07-26
Published:
2020-07-26
摘要: 微悬臂梁结构是微机电系统(MEMS)中广泛应用的一种结构型式。在其动力学分析模型中,除了考虑非线性静电力、参数激励和压膜阻尼的影响,还加入了范德华力。通过改变影响范德华力的参数,分析了范德华力对系统的吸合电压、稳定运动状态以及分岔的影响,得出了范德华力对系统动力响应影响的变化规律,为对该系统的运动控制奠定了基础。
唐黎明;谢进;谢蛟;任必春;. 范德华力对微悬臂梁动力模型及分岔的影响[J]. 机械设计与研究, 2014, 30(03): 71-74+78.
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