机械设计与研究 ›› 2019, Vol. 35 ›› Issue (04): 0-.doi: 10.13952/j.cnki.jofmdr.a4961
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出版日期:2019-08-20
发布日期:2019-08-20
Online:2019-08-20
Published:2019-08-20
摘要： 书名:MEMS技术及应用作者:蒋庄德著出版时间:2018年11月定价:69. 00元对微机电系统(MEMS)的精微剖析和系统阐述。20年MEMS教学与科研历程的总结;蒋庄德院士的倾心力作。让我们跟随作者的脚步,将"芯"的革命进行到底!内容简介:"先进制造科学与技术丛书"的首本。本书讨论的主题是微机电系统(MEMS)这一前沿交叉学科。作者对MEMS技术的主要方面:结构、材料、工艺、设计、测量等进行了系统的论述,并随之对MEMS的典型应用进行了分类介绍,为读
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